Описание:
EasyTube 4000 - усовершенствованная установка, реализующая процесс CVD для синтеза широкого круга наноструктурированных материалов, нанесения тонких пленок и отжига. Позволяет производить бесчисленное множество наноструктур, включая SWNT, MWNT, графен, полупроводниковые нанопровода такие как Si, Ge, ZnO, GaN, BN, тонкие пленки (SiGe, SiO2, Si3N4 и др.) при помощи гидридов, жидких и твердых прекурсоров.
Система EasyTube 4000 сконструирована в соответствии с современными стандартами по безопасности, может эксплуатироваться с воспламеняющимися газами и высокотоксичными компонентами, включая силан, герман, диборан, фосфин, HCl и металл‐органические прекурсоры.
Область применения:
Наноэлектроника, производство полупроводников, фотовольтаика, MEMS, создание композитных и структурных покрытий и др.
Примеры пленок:
- Silicon Nitride (SiN)
- Silicon Oxide (SiO)
- Silicon Dioxide (SiO2)
- Silicon OxyNitride (SiON)
- Diamond Like Carbon (DLC)
- Amorphous Silicon (a-Si)
- Poly Silicon (poly-Si)
Система EasyTube 4000 предлагается в двух основных конфигурациях:
- EasyTube 4200 для работы с подложками до 100 мм.
- EasyTube 4300 для работы с подложками до 150 мм и опциональной загрузочной камерой.
Стандартная спецификация:
- Компьютерное программное обеспечение, позволяющее контролировать процессы, хранить данные, работать с интерфейсом безопасности и генератором рецептов для компьютеров на базе MS Windows.
- Запрограммированные рецепты для SWCNT, DWCNT, полупроводниковых нанопроводов, диэлектрических и SiGe тонких пленок.
- 3-зонная резистивная печь для температур до 1100 °C ( ВЧ нагрев до 1500 °C, опция ).
- Высокая производительность системы с печью FastCool.
- Запатентованная каскадная система контроля температуры в режиме реального времени.
- Консольная система автоматической загрузки.
- Кварцевая реакционная камера диаметром 5”.
- Работа с подложками до 150 мм в диаметре.
- Газовые линии сверхвысокого давления с расходомерами – 4шт.
- Программируемые предупреждения и сигналы тревоги.
- Гарантия 12 месяцев.
- Интуитивно понятное ПО и система взаимоблокировки устройств.
- Сертификация Semi – S2/S8 и CE®.